因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，一切以实际成交合同为准。
HVA 矩形阀 88200 系列
上海伯东美国 HVA 矩形阀门 88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA 闸板阀好于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
HVA 88200 系列矩形真空板阀技术参数
|
连接形式： |
标准或定制法兰 |
|---|---|
|
主体材料： |
铝 |
|
公称通径： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
|
漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
|
压力范围: |
1x10E-9 Torr |
|
烘烤温度: |
《150℃ |
|
适用介质： |
水、蒸汽、空气 |
|
密封形式： |
软密封型 |
|
驱动方式： |
气动 |
|
使用寿命: |
1000000 启闭次数 |
28200＆88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图
|
DN |
Model |
|
|
|||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
mm |
inch |
Number |
J (Bolted Body) |
K (Clamped Body) |
||||
|
32 x 220 |
1.26 x 8.74 |
28212-0109RX_ |
2D |
3D |
Quote |
2D |
3D |
Quote |
|
32 x 332 |
1.26 x 13.07 |
28212-0113RX_ |
2D |
3D |
Quote |
2D |
3D |
Quote |
|
46 x 236 |
1.81 x 9.29 |
28212-0209RX_ |
2D |
3D |
Quote |
2D |
3D |
Quote |
|
50 x 336 |
1.97 x 13.23 |
28212-0213RX_ |
2D |
3D |
Quote |
2D |
3D |
Quote |
HVA 28200＆88200 系列矩形真空板阀部件图
