英国KP开尔文探针扫描-半导体表征
开尔文探针扫描系统包括:
□单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);
□扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);
□超真空(UHV)开尔文探针;
□湿度控制的腐蚀开尔文探针;
英国KP开尔文探针扫描-半导体表征
系统配置
这是一款可以被大多数客户所接收的扫描开尔文探针系统,它是在ASKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置,其规格如下:
□2毫米,50微米探针;
□功函数分辨率1-3meV(2毫米针尖),5-10meV(50微米针尖);
□针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内;
□表面势和样品形貌3维地图;
□探针扫描或样品扫描选配;
□彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置;
□参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌);
□备用的针尖放大器;
□24个月超长质保期;
英国KP
http://www.airtest.net.cn/Products-31156705.html
https://www.chem17.com/st17159/product_31156705.html
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