酸性清槽剂

 酸性清槽剂

一、产品特性

目前碳酸钠、碳酸钾广泛使用于干膜制程，由于槽液含有大量碳酸根，当其结合水中钙、镁离子，产生固体沉淀，此白色沉淀不仅附着在槽壁，同时亦阻塞管路与喷嘴，容易造成显影不良等后遗症，重者将破坏设备降低设备寿命。

酸性清槽剂为单液型，针对上述制程困扰研发，能有效清除干膜槽沉淀固体，并可溶解干膜槽中的油性物质，定期清槽可有效确保制造加工质量延长设备寿命。

二、 配槽方法

酸性清槽剂	30%-50%
水	50%-70%

清槽步骤：

1、          先排放掉旧显影液，再用清水清洗10分钟。

2、          加酸性清槽剂（40%），并以清水加至标准液位。

3、          升温至40℃，喷洗1-3小时后排放此液。

4、          注入清水喷洗10分钟后排放，再用高压水枪冲洗。

5、          注入清水喷洗15分钟后排放，即可完成清槽程序。

三、操作条件

1、          温   度：30~40℃

2、          浓   度：40%

3、          时   间：1-3小时（视沉淀物多少而定）

四、产品性质

1、          外    观：无色至淡红色液体

2、          比    重：1.0±0.2

3、          PH   值：PH＜4

4、          闪 火 点：不可燃