超声波清洗机清洗效果好，清洁度高且全部工件清洁度一致。清洗速度快，提高制造加工效率，不须人手接触清洗液，安全可靠。清洗砷化镓晶片的高清洗工艺要求，选用超声波清洗机清洗。言之，超声波清洗机的基本原理是以每秒几万次的振动，在液体中产生超声波空化作用形成空化泡。在空化泡消失时产生很大的冲击力，当被洗工件受到这个外力冲击时，工件表面的沾污就被剥离，达到清洗的目的。从而致使，超声波清洗机已经成为众多需清洗行业的首选之一。
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