六甲基二硅氮烷 999-97-3 六甲基二硅胺烷 半导体助剂
中文名称: 六甲基二硅氮烷
中文别名: 六甲基二硅亚胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS
英文名称: 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane
CAS号: 999-97-3
EINECS号: 213-668-5
分子式: C6H19NSi2
分子量: 161.39
性状 无色透明液体、无毒、略带胺味
密度(25℃)g/cm3:0.770—0.780
折光率():1.408±0.002
六甲基二硅氮烷含量(%):≥99.0
六甲基二硅氧烷含量(%):≤0.7
三甲基硅醇含量%:≤ 0.3
闪点:27℃
沸点:126℃ 色度:≤10
用途:特种有机合成。衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。

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