气体流量控制是带有控制气体质量流量的装置，而气体质量流量计是不具有控制气体质量流量功能的装置。
产品应用：
真空镀膜/太阳能、氢能等新能源/半导体/石油石化精细化工/电力冶金
环保/食品包装/生物医药/新材料/工业制作/各种分析
仪器/制气配气系统
产品参数：
1、量程范围：2SCCM～6000SLM（0~0.02SCCM~6000SLM）
2、准确度：±0.5%F.S
3、线性：±0.5%F.S
4、重复精度：±0.2%F.S
5、响应时间：流量计：＜0.1s；流量控制器：<0.2s
6、数字量：RS232/485，MO*US，Profibus，DeviceNet等协议。
7、模拟量：0～5V、4-20mA、1～5V
8、供电：±15VDC，24VDC
9、工作温度：0～50℃
10、工作压降：<0.01Mpa（流量计）
11、工作压差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
12、耐压：3MPa/10MPa
13、漏率：1×10-9SCCSHe
14、温度系数：±0.025%F.S/℃
15、底座材质：不锈钢
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