电容位移传感器提供高稳定性和线性方案、高分辨率、高带宽测量方案,用于测量硬盘驱动马达,气动轴承转子,X-Y样品台准确度,光盘,汽车零部件和机床等测量。
设备应用:
.测量系统应用:远程位置调节器的伺服反馈系统应用;
间距和位移测量应用 :空间测量及检测 轴向位移测量;
转动测量系统应用:马达精度和转轴转动测量 转轴测量计精度校准测量 直线和平面平台精度测量;
厚度测量系统应用:磁性介质厚度测量 光盘厚度测量;
自动聚焦和归零测量应用:半导体硅片测量;
振动测量系统应用:样品台精度振动测量 转轴振动精度测量 主动性防震系统反馈测量。
特性:
1、完全非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术, 无损样品测量;
2、优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米;
3、高准确性,高灵敏性测量,精度可达0.5nm;
4、可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响。
设备性能及主要参数:
1、量程:±25µm 到±1000µm满量程测量;
2、分辨率:优于2nm (r.m.s.) @ 1kHz;
3、带宽:1kHz、5kHz、0kHz、100kHz可选。
更多产品信息来源:http://www.dymek.com.cn/Products-35192991.html
https://www.chem17.com/st110205/product_35192991.html

