特性：
1、完全非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术, 无损样品测量；
2、优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米；
3、高准确性，高灵敏性测量，精度可达0.5nm；
4、可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响。
5、用途广泛：金属薄片厚度测量，振动测量，工作台垂直度（Straighness）和平坦度（flatness）测量，精密马达转轴偏振测量（Axial、Radial、Spindle runout），精密仪器工作平台.，设备自动聚焦测量（微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…）
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