显示器薄膜测量仪是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快速和准确测量薄膜特性：厚度，折射率，均匀性，颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。
测量原理：
白光反射光谱(WLRS)是测量从单层薄膜或多层堆叠结构的一个波长范围内光的反射量，入射光垂直于样品表面，由于界面干涉产生的反射光谱被用来计算确定(透明或部分透明或完全反射基板上)的薄膜的厚度、光学常数(n和k)等。
1、样片平台可容纳任意形状的样品。450mm平台也可根据要求提供。真正的X-Y扫描也可能通过定制配置；
2、硅基板上的单层SiO2薄膜的厚度值。对于其他薄膜/基质，这些值可能略有不同；
3、15天平均值的标准差平均值。样品：硅晶片上1微米的二氧化硅；
4、2 X (超过15天的日平均值的标准偏差)。样品：硅晶片上1微米的二氧化硅；
5、测量结果与校准的光谱椭偏仪比较；
6、根据材料；
7、测量以8 "晶圆为基准。如有特殊要求，扫描速度可超过1000次测量/每分鐘；
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