多层膜厚度测试仪是一款快 速、准确测量薄膜表征应用的模块化解决方案，可以将 光斑缩小到几个微米，进而分析微小区域或者粗糙表面薄膜特征。它可以配备一台专 用计算机控 制的 XY 工作台，使其快 速、方便和准确地描绘样品的厚度和光学特 性 。也可以搭配自动平台测量 400x400mm 大小样品。
相关应用：
高校&研究所实验室
半导体制造（氧化物/氮化物，硅膜，光刻胶及其他半导体薄膜）
MEMS 器件（光刻胶，硅膜等）
LEDs，VCSELs多层膜测量应用
数据存储
阳极处理氧化膜
曲面基底的硬化涂层
聚合物膜层，粘合剂
特点：
1、规格如有更改，恕不另行通知；
2、测量结果与校准的光谱椭偏仪和 XRD 相比较,
3、连续15天测量的标准方差平均值。样品：(1um SiO2 on Si)
4、100次厚度测量的标准方差，样品：1um SiO2 on Si
5、超过15天的标准偏差日平均值样品：1um SiO2 on Si。
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