因此在这个压力区间时,需要有一个能实现大抽速的真空泵,将真空室中的低压气体压缩到适合的较高压力,再进入到螺杆真空泵等前级泵的吸入口,以保证真空系统有稳定的抽速与较大的抽气效率。因为增压的这个过程,这个真空泵顾名思义就称之为增压泵。
而罗茨真空泵作为一种机械真空泵,在0.1~100Pa区间范围都有着很高的抽气速率与效率,在这个增压过程中就非常适合,因此应用中就被称作为机械增压泵。此外增压泵除机械增压泵外,还有是油增压泵,原理类似于油扩散泵,但泵油有所区别。当然我们也可以看出,机械增压泵工作于一定的压力区间,无法单独使用,必须与其他作为前级泵的机械真空泵配合,或者连接真空度更高的真空泵以及前级泵三者配合使用。
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